濺射薄膜壓力傳感器的工藝
濺射薄膜壓力傳感器的工藝
1、前言濺射薄膜式壓力傳感器是采用薄膜工藝技術(shù)，用離子束濺射工藝取代了傳統(tǒng)的膠粘式應(yīng)變計?？朔擞赡z粘引起的蠕變，精度低等一系列弊端，使其在長期穩(wěn)定性，耐高溫、高輸出阻抗等性能指標(biāo)得到了極大的提高。所以濺射薄膜壓力傳感器適合于要求穩(wěn)定性好，可靠性高或溫度范圍寬等惡劣條件下的壓力參數(shù)測量。特別是在航天領(lǐng)域，其應(yīng)用要極為廣泛。
2、濺射薄膜壓力敏感元件的結(jié)構(gòu)形式與工作原理
濺射薄膜壓力敏感元件是直接在金屬彈性體上先制作一層絕緣介質(zhì)層，再在其上制作金屬薄膜，通過濺射、光刻、刻蝕等一系列的工藝形成應(yīng)變圖形（惠斯登電橋）。最后在制作好的敏感元件表面覆蓋一層保護層。隨著被測壓力的變化，彈性體產(chǎn)生變形，電橋感知彈性的應(yīng)變，產(chǎn)生電阻值變化，通過應(yīng)變橋的變化測量壓力。
我公司研制的濺射薄膜壓力傳感器、變送器，產(chǎn)品性能指標(biāo)和工藝水平在國內(nèi)處于領(lǐng)先水平。濺射薄膜壓力傳感器具有的穩(wěn)定性好，可靠性高、溫度范圍寬、精度高、漂移小、抗震動、沖擊、，耐腐蝕全不繡鋼結(jié)構(gòu)等特點被廣泛應(yīng)用于我國國防軍工行業(yè)。
